众所周知，目前的硅基芯片，其制造过程都离不开光刻工艺，所以光刻机必不可少。
干式光刻机ArF Dry，最多可以实现65nm制程。浸润式光刻机ArFi可以实现的最小制程是7nm，而到了7nm以下，就需要EUV光刻机了。
目前国内的芯片制造工艺，一直卡在14nm，进入不了10nm、7nm等，很多人认为主要是光刻机被卡住了。
【资料图】
毕竟之前中芯的梁孟松也是这么说的，他说7nm制程的研究工作，已经全部做好，5nm制程的最大难点，也在进行中，只等EUV光刻机的到来。
但其实现5nm，真的买到EUV光刻机就行了么，并不是的，还有一种关键设备非常重要，且这种关键设备，也是被美国禁售的。
这种关键设备就是多束电子束光刻机，它与EUV光刻机的作用截然不同。
这种电子束光刻机用在哪里？用在光摸膜板的制造上。
我们知道目前的芯片制造，类似于投影，先制造出光掩膜板，把电路图刻在光掩膜板上，类似于制造一张“幻灯片底片”，而一颗高端芯片通常需要60-90块光刻掩模，其中EUV掩模数量为5-10块，单块成本最高可达200万美元以上。
然后再利用光刻机，用光线来照射光掩膜板，将上面的图刻录到硅晶圆上去。
光掩膜板的精度，其实要高于芯片的精度要求的，毕竟它是底片。而制造这种光掩膜板就需要电子束光刻设备，也是不可替代的。
目前全球仅4家主要企业，能够制造这种多束电子束光刻机，分别是日本的JEOL公司、Nuflare公司、德国的Vistec公司和奥地利的IMS（ IMS Nanofabrication GmbH）公司。其中IMS已被英特尔收购。
这4家中，日本Nuflare 公司最牛，拿下全球90%的份额，也是唯一一家能够具备3nm摸膜板制备能力的厂商。
而这种设备，当然也是被禁运的，是直接被写入《瓦森纳协定》中进行管控的。
可见，真要实现5nm芯片，我们要补的课还非常多，不仅仅是EUV光刻机，还有这种电子束光刻机，甚至除了这两种外，还有各种各样的设备、材料等等。
大家别都只盯着EUV光刻机，它也不过是众多设备中的一种，这些设备缺一不可，所以国产芯片产业链加油吧，路还很漫长。
相关文章 深度分析：工业机器人国产化率提升 企业如何突破发展瓶颈？（图）05-062022年中国通信行业经济运行月度报告（附全文）03-13关键词：
众所周知，目前的硅基芯片，其制造过程都离不开光刻工艺，所以光刻机必2023-08-14
因关联交易，天际股份近日收到深交所的关注函。此前，天际股份发布收购2023-08-14
雷佳音老婆晒照被疑有二胎，11岁女儿涂指甲油好洋气，手机不离手,甜蜜,2023-08-14
8月8日上午，介休市召开国考省考问题整改第二阶段“大比武”工作安排暨2023-08-14
第72集团军某旅因地制宜开展野外文体活动——“登山夺旗”激发练兵斗志2023-08-14
中国天气网讯 今天(8月14日)，东北一带的降雨将明显减弱；同时，南2023-08-14
1、乐小米的《谁教白马踏梦船》第二十三章里有。2、此外，《倾城梦美人2023-08-14
北京时间8月14日，据波士顿环球报的AdamHimmelsbach报道，凯尔特人老板2023-08-14
截至8月10日，扬州泰州国际机场今年旅客吞吐量已突破200万人次，创下机2023-08-14
联合国气象组织8月8日宣布，2023年7月成为人类有气象记录以来全球平均2023-08-14
中新网三亚8月13日电(张月和)8月13日，三亚市举行城市更新建设启动仪式2023-08-14
人民网雅加达8月13日电（记者李培松）8月10日，2023印度尼西亚国际汽车2023-08-13
根据克拉克森数据显示，截至8月12日，我国船东所持有的船队规模已经达2023-08-13
尺神经是由颈部发出，通过第一肋骨与锁骨之间，经腋下，延肱骨内侧下行2023-08-13
俄罗斯电视台（RT）12日报道，尽管西方制裁压力挥之不去，但俄罗斯国内2023-08-13
【分享女性人物故事，每一种人生都有它可爱的模样！】（本文图片来2023-08-13
1、至于酒店预订的问题，你就去青岛新闻网的预定频道看看~trip qingdao2023-08-13
“轰！“伴随着一阵巨大的声响，红发青年被震倒在地上，脸色苍白，两道2023-08-13
8月8日，在博湖县公共体育场射箭比赛现场，参加自治区第十四届运动会射2023-08-13
0471房产来为大家解答以上的问题。决明子和茶叶泡水喝的功效，决明子茶2023-08-13
德国狙击之王海岑诺尔是如何做到一天打退美军8次进攻的？,2023-08-13
1、显然他们都不是正版的……迅雷自己是不做源的。2、只有迅雷看看是视2023-08-13
深圳新闻网2023年8月13日讯（深圳特区报记者程赞）近日，受台风影响，2023-08-13
本周（8月7日至8月11日），北交所新增2家企业：鸿智科技、华洋赛车，北2023-08-13
美人图电影，人图电影的基本详情介绍很多人还不知道，那么现在让我们一2023-08-13
